共聚焦显微镜使用技术开发的光学轮廓仪，其共聚焦部分的主要优点是有着*发光效率的照明硬件和高对比度算法。这些特点使系统成为测量有着陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有异种材料样品的理想设备。高品质干涉光学系统和集成压电扫描器是干涉轮廓仪部分的关键。这项技术对于测量非常光滑至适度粗糙的表面比较理想。这些技术的组合为轮廓仪提供了无限宽广的应用领域。

 

　　光谱反射法是薄膜测量的方法之一，因为它、无损、迅速且无需制备样品。测量时，白光照射到样品表面，并将在膜层中的不同界面反射，并发生干涉和叠加效应。结果，反射光强度将显示出波长变化，这种变化取决于薄膜结构不同层面的厚度和折射率。软件将测得的真实光谱同模拟光谱进行比较拟合，并不断优化厚度值，直到实现标准匹配。

 

　　光学测量法检测粗糙度，单件产品测量时间仅零点几秒，可以实现在线全检。测量精度及重复性是普通进口产品的3倍以上。密封式设计，结构坚固可靠。激光粗糙度仪适宜于恶劣现场环境中常年使用。无触针等易损件更换。一次投资，使用。对于一定的工艺过程，仪器仅标定一次。无重复标定费用。手持式小巧结构，非接触式测量，不会导致被测件变形及损坏。同时，测量结果不受被测件震动影响。由于取消传统探针触头接触式结构,对于表面波纹度较低试件，测量结果同工艺性能具有好的相关性。